超声波溅射靶材清洗机
MECS, opening up a new future.
超声波溅射靶材清洗机
MECS TECH推出了一种独特的超声波清洗方法，不同于传统的使用浸泡槽的超声波清洗方法。 采用MECS TECH专有的超声波清洗方法，
提供了一种解决方案，防止超声波清洗过程中溅射靶在浸泡槽中的再污染。
这确保了彻底的目标清洁过程
Ultrasonic Target Cleaning M/C(Single Axis)
| 型号 | 单轴驱动型 |
|---|---|
| 频率 | 20 KHz ± 1 KHz |
| 最大输出 | 2,000 Watt (Max) |
| 电源 | 220V / 1 phase |
| 水槽尺寸 | 根据客户需求定制 |
| 工具头尺寸 | Max 420mm / one Horn |
| 气动系统,用于头上下驱动 | Over 3 bar |
| 清洗液过滤系统 | 2级过滤（1um） |
| 清洁工具头X轴运动 | 电机驱动 |
| 清洁工具头Z轴(上下)运动 | 气动系统驱动 |
| 上料和下料 | 手动 |
| 清洁计数器套装 | 可用 |
| 干燥系统 | 无 |
| 清洗液回收过滤系统 | 有 |
| 过滤器更换时间控制 | 有 |
| 清洁速度 | 可调（最大:约2M/min） |
| 控制系统 | PLC |
Ultrasonic Target Cleaning M/C(Two Axis)
| 型号 | 双轴驱动型 |
|---|---|
| 频率 | 20 KHz ± 1 KHz |
| 最大输出 | 2,000 Watt (Max) |
| 电源 | 220V / 1 phase |
| 水槽尺寸 | 根据客户需求定制 |
| 工具头尺寸 | Max 420mm / one Horn |
| 清洗液过滤系统 | 3级过滤（0.5um） |
| 清洁工具头X轴运动 | 伺服电机驱动 |
| 清洁工具头Z轴(上下)运动 | 伺服电机驱动 |
| 靶材上料和下料 | 通过滚筒系统自动装卸 |
| 清洁计数器套装 | 可用 |
| 干燥系统 | 有 |
| 清洗液回收过滤系统 | 有 |
| 过滤器更换时间控制 | 有 |
| 清洁速度 | 可调（最大:约2M/min） |
| 根据目标表面进行往返运动 | 有 （即使目标表面不平坦，工具头也会自动在目标表面上方移动，同时保持 工具头和目标表面之间的相等距离） |
| 控制系统 | PLC, 人机界面 |