초음파 스퍼터링 타겟 세척기
새로운 미래를 열어가는 멕스기연
초음파 스퍼터링 타겟 세척기
멕스기연은 기존의 침전식 수조를 이용한 초음파 세척과는 다른 멕스기연 고유의 초음파 세척 방식을 도입하여 스퍼터링 타겟을 세척함으로써
침전식 수조를 이용한 초음파 세척에서 발생하는 침전조에서의 스퍼터링 타겟의 재오염을 미연에 방지하는 솔루션을 제공함으로써 완벽한 타겟 세척을 제공합니다.
Ultrasonic Target Cleaning M/C(Single Axis)
| 모델No. |
초음파 스퍼터링 타겟 세척기(1축 구동방식) |
| 초음파 |
20 KHz ± 1 KHz |
| 최대출력 |
2,000 Watt (Max) |
| 전원 |
220V(단상)/ 60Hz |
| 세척조 사이즈 |
고객 스퍼터링 타겟 사이즈에 맞게 제작가능 |
| 초음파 Horn 사이즈 |
최대 420mm / one Horn |
| 세척헤드 상하 이동을 위한 공압 |
최소 3 bar 이상 |
| 세척액 필터링 시스템 |
2 단계 필터링 (1 um) |
| 세척 Horn X 축(좌우) 이동 |
Induction Motor에 의한 구동 |
| 세척 Horn Z 축(상하) 이동 |
공압에 의한 구동 |
| 특징 |
| 스퍼터링 타겟로드 & 언로드 |
수동방식 |
| 세척 카운터 |
장착가능 |
| 스퍼터링 타겟 건조 시스템 |
없음 |
| 세척액 재사용 및 필터링 시스템 |
있음 |
| 필터 교체주기 알림 카운터 |
있음 |
| 세척 속도 조절 |
조절가능(최대 2m/min) |
| 제어부 |
PLC |
Ultrasonic Target Cleaning M/C(Two Axis)
| 모델No. |
초음파 스퍼터링 타겟 세척기(2축 구동방식) |
| 초음파 주파수 |
20 KHz ± 1 KHz |
| 최대 출력 |
2,000 Watt (Max) |
| 전원 |
220V(단상)/60Hz |
| 세척조 사이즈 |
고객 스퍼터링 타겟 사이즈에 맞게 제작 |
| 초음파 Horn 사이즈 |
최대 420mm |
| 세척액 필터링 시스템 |
3 단계 필터링 (0.5 um) |
| 세척 Horn X 축(좌우) 이동 |
Servo Motor에 의한 구동 |
| 세척 Horn Z 축(상하) 이동 |
Servo Motor에 의한 구동 |
| 특징 |
| 스퍼터링 타겟 로드 & 언로드 |
Roller 시스템에 의한 자동 로딩 & 언로딩 방식 |
| 세척 카운트 |
장착 가능 |
| 스퍼터링 타겟 건조 시스템 |
있음 |
| 세척액 재사용 및 필터링 시스템 |
있음 |
| 필터 교체 주기 알림 카운터 |
장착 |
| 세척 속도 조절 |
조절 가능 (최대 2m/min) |
| 초음파 Horn이 센서에 의해 타겟 표면의 굴곡을 따라 자동으로 위 아래로 움직이며 이동하며,
세척 효과를 극대화함 |
| 제어부 |
PLC |
